如何入射角为晶片测试优化和全自动SiPh晶圆测试架构实现准确。
实施节能光收发模块与硅光子学(SiPh)和3 dic技术将有助于缓解超大型数据中心的能耗增加。促进有效3 dic异构集成这些光子集成电路光学收发器、精度高、可重复的和可靠的SiPh晶片验收测试是必不可少和至关重要的。本文成功地演示了入射角为晶片测试优化以及评价的全自动SiPh晶圆测试结构准确、可靠,实现优秀的测试之间的相关性被动和主动设备设计与grating-couplers edgecouplers。
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