使用故障仓分类、良率预测和工艺窗口优化来识别和防止工艺故障。
本文给出了一个利用虚拟加工技术提高良率的实例。本案例以一个基于7纳米节点技术的6晶体管静态随机存取存储器为例。对过孔接触-金属边缘放置误差引起的屈服损失进行了建模和分析。结果表明，通过优化工艺窗口和改进工艺参数控制，可使收率从48.4%提高到99.0%。在非优化过程模型和优化过程模型中，我们都将高阻破坏确定为最主要的破坏模式。
作者
Coventor公司，Lam Research Company，上海，中国:王庆鹏，陈宇德，黄杰基，刘武平，Ervin Joseph
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